1.1 仪器特点

Ø 多参数测量：Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc；

Ø 高精度传感器；

Ø GAUSS滤波器；

Ø 符合ISO4287；

Ø 128×64 点阵OLED，白字；

Ø 内置锂离子充电电池，容量高、无记忆效应，连续工作时间大于20小时；

Ø 机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；

Ø 具有自动关机、记忆及各种信息；

Ø 可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、接长杆等附件。

1.2 仪器参数：

1、 传感器

Ø 检测原理：    电感式

Ø 测量范围：    200μm

Ø 针尖半径：    5μm

Ø 针尖材料：    金刚石

Ø 触针测力：    4mN(0.4gf)

Ø 触针角度：    90°

Ø 导头纵向半径：45mm

2、 驱动参数

Ø 最大驱动行程：    15mm

Ø 驱动速度：  测量时            当取样长度= 0.25mm          Vt=0.135mm/s

当取样长度= 0.8mm           Vt=0.5mm/s

当取样长度= 2.5mm           Vt=1mm/s

返回时                                        V=1mm/s

Ø 示值误差：不大于±10% ，示值变动性：不大于6%